에드워드 코리아, 서울 코엑스 ‘세미콘 코리아 2023’ 참가

에드워드 코리아가 이번 2월 1일부터 3일까지 서울 코엑스에서 열리는 ‘세미콘 코리아 2023’에 ‘sustainability through collaboration’이라는 슬로건으로 참여한다고 밝혔다. 

관계자는 "먼저 이번 전시회에서는 반도체 제조산업 내 탄소저감과 ESG 활동에 대한 협력을 강조할 계획이다. 이번 세미콘 코리아에서 에드워드 코리아는 High Performance ALD 공정에 특화된 ‘iXH6520HTXS+’ 와 부식성 공정에 대응력을 극대화한 ‘iXH1220HTXS XD+’ 건식 펌프를 새로 선보인다. 두 제품 모두 기존 iXH 펌프 시리즈의 온도 대역을 확장하여, 보다 고도화 및 다변화되는 미래 반도체 공정 기술에 선행 대응할 수 있는 제품이다."라고 소개했다. 

그러면서 "또한 EUV Lithography 장비를 지원하는 에드워드의 EUV Zenith 시스템의 Hydrogen Dilution을 공개할 예정이다. Hydrogen Dilution은 화석 연료에 의지하지 않으면서 더 안전하고 친환경적으로 공정 가스를 처리할 수 있는 기술이다."라고 설명했다. 

이어 "지난해 11월, 전 세계 반도체 공급망의 온실가스 배출 저감의 가속화를 위해 발족된 ‘반도체 기후 컨소시엄(SCC)’에 가입한 에드워드는 반도체 제조 산업의 지속가능성과 탄소 저감을 강조하기 위해 진행되는 ‘Sustainability Forum’에서 에드워드의 Engineering Vice President인 Chris Bailey가 반도체 제조 산업의 지속가능성을 주제로 ‘Making Scaling Greener: Edwards’ Sustainability From Subfab to Fab’을 발표한다."라고 전했다. 

통합 진공 및 배기 관리 솔루션의 글로벌 리더인 에드워드의 지속가능한 제조 기술은 2023년 2월 1일부터 3일까지 서울 코엑스 D홀 전시장에서 만나볼 수 있다.